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ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 LR3601-T
ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 LR3601-T
多級(jí)羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。
在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。
通過在低溫范圍內(nèi)平衡泵體的熱量，它是 PVD 工藝抽真空的理想泵，尤其是在制備和取出室中，縮短泵送時(shí)間以提高吞吐量非常重要。
長處
除了低溫整平（型號(hào)：LR）
PVD 工藝外，它還特別適用于制備室和取出室的排氣，在這些地方，縮短抽氣時(shí)間對(duì)于提高產(chǎn)量很重要。
由于其密封結(jié)構(gòu)，由于其密封
結(jié)構(gòu)，它非常安全。
瞬時(shí)停止：在 1000 毫秒內(nèi)實(shí)施瞬時(shí)停止
措施。
優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊
表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時(shí)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能：
可以讀取泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報(bào)歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過使用軟件和計(jì)算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。
用
成膜設(shè)備（濺射設(shè)備、氣相沉積設(shè)備等）
減少準(zhǔn)備室和取出室的排氣時(shí)間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵的輔助排氣、機(jī)械增壓泵）
規(guī)范
| 型 | LR300 系列 | LR600 系列 | LR1200型 | LR1800 系列 | LR3601 系列 | LR3601-T（TT） 銅皮 | LR3601-R | LR3601-TR（TTR） 銅 | ||
| 使用的泵 | DRP | LR60 系列 | LR90 系列 | LR90 系列 | LR180型 | LR421 系列 | LR421-T | LR421 系列 | LR421-T | |
| MPB | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | PRC-018A 系列 | PRC-036C 系列 | PRC-036C（-T） 系列 | PRC-036D 系列 | PRC-036D（D-T） 系列 | ||
| *抽速 | 50 赫茲 |
m3/h （升/分鐘） |
359 （5,980） |
653 （10,900） |
1,012 （16,900） |
1,701 （28,350） |
3,200 (53,333) | |||
| 60 赫茲 |
m3/h （升/分鐘） |
365 （6,080） |
701 （11,700） |
1,051 米 （17,500） |
1,784 （29,700） |
3,200 (53,333) | ||||
| 極限壓力 | 0.67 帕 | |||||||||
| *入口壓力（入口壓力） | 氣壓 | |||||||||
| *排氣口壓力（排氣壓力） | 1Pa ~ 大氣壓 | |||||||||
| 進(jìn)氣口 （CE 規(guī)格） | VG80 （KF80） |
VG100 型 （KF100） |
VG150 型 （KF100） |
VG150型 | ||||||
| 排氣口 | 肯氟烴40 | KF50 系列 | ||||||||
| MBP 表面處理 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | × |
T：× TT：× |
× |
TR：× TTR：〇 |
||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 275 | 370 | 420 | 545 | 660 | 720 | 660 | 720 | |
| 電力 *3 | 三個(gè)階段 | VAC （赫茲） | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 （50/60） | ||||||
| 當(dāng)前值 | 穩(wěn)態(tài) | 一個(gè) |
7.0 （200V 時(shí)） |
12.3 （200V 時(shí)） |
13.7 （200V 時(shí)） |
21.4 （200V 時(shí)） |
31.0 （200V 時(shí)） 400V 時(shí) 20.5 |
35.4 （200V 時(shí)） 400V 時(shí) 20.5 |
||
| *值 | 一個(gè) |
9.6 （200V 時(shí)） |
19.0 （200V 時(shí)） |
24.2 （200V 時(shí)） |
39.8 （200V 時(shí)） |
200V 時(shí)為 58.4,400V 時(shí)為 40.5 |
82.0 （200V 時(shí)）400V 時(shí) 40.5 |
|||
| 冷卻水臨時(shí)壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | |||||||
| 冷卻水入口/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | >4.0 | |||||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | ||||||||
| N2?吹掃 | 軸 | SLM 系列 | 5 | |||||||
| 加斯伯勒 | SLM 系列 | 0~45 | 無 *4 | 0~45 | 無 *4 | 0~45 | ||||
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