測量工業(yè)顯微鏡的光源是保障成像清晰度、測量精度的關(guān)鍵輔助部件,需根據(jù)被測物體材質(zhì)(如金屬、透明件、反光件)、測量需求(如尺寸測量、缺陷檢測)適配不同類型光源。不同光源在亮度調(diào)節(jié)、光譜特性、照射方式上存在差異,合理選擇光源能減少成像干擾,突出被測目標特征,以下是常見的光源類型及特性分析。
一、按光源技術(shù)類型分類
1. 鹵素?zé)簦u鎢燈)
鹵素?zé)羰菧y量工業(yè)顯微鏡的傳統(tǒng)基礎(chǔ)光源,核心原理是通過鎢絲通電發(fā)熱發(fā)光,燈內(nèi)填充鹵素氣體(如碘、溴)減少鎢絲蒸發(fā),延長使用壽命。其優(yōu)勢在于光譜接近自然光,顯色性好(顯色指數(shù) Ra≈95),能真實還原被測物體的顏色與細節(jié),適合對顏色精度要求高的場景(如塑料件色差檢測、電子元件染色標記識別);亮度可通過調(diào)壓器連續(xù)調(diào)節(jié),適配不同反光率的物體(如低反光的陶瓷件需高亮度,高反光的金屬件需低亮度)。
但鹵素?zé)舸嬖诎l(fā)熱量大、壽命較短(約 1000-2000 小時)的缺點,使用時需注意散熱,避免光源熱量傳導(dǎo)至載物臺影響熱敏性樣品(如塑料、生物組織);且其光譜含較多紅外光,長時間照射可能導(dǎo)致樣品輕微升溫,需搭配紅外濾光片使用。
2. LED 燈(發(fā)光二極管光源)
LED 燈是目前測量工業(yè)顯微鏡的主流光源,通過半導(dǎo)體芯片通電發(fā)光,按封裝形式可分為 “貼片 LED”“大功率 LED”。其核心優(yōu)勢是壽命長(約 20000-50000 小時)、發(fā)熱?。◣缀鯚o紅外輻射),適合長時間連續(xù)測量(如生產(chǎn)線批量檢測);亮度調(diào)節(jié)范圍廣(支持 0-* 無級調(diào)光),且可通過 RGB 三色 LED 組合實現(xiàn) “色溫可調(diào)”(2700K-6500K),適配不同顏色的被測物體 —— 暖色溫(2700K-3500K)適合檢測暖色樣品(如紅色金屬件),冷色溫(5000K-6500K)適合檢測冷色樣品(如藍色塑料件)。
此外,LED 燈還支持 “脈沖發(fā)光” 模式,通過與顯微鏡的圖像采集系統(tǒng)同步,在拍照瞬間提高亮度,減少運動模糊(如檢測高速移動的微小零件)。但普通 LED 燈顯色性略低于鹵素?zé)簦≧a≈80-90),對顏色精度要求極高的場景(如醫(yī)藥行業(yè)的染色劑檢測),需選用高顯色指數(shù) LED(Ra≥95)。
3. 汞燈(高壓汞燈)
汞燈通過高壓激發(fā)汞蒸氣發(fā)光,光譜含強紫外線與特定波長可見光(如 436nm 藍光、546nm 綠光),適合需要 “熒光激發(fā)” 或 “高分辨率成像” 的測量場景,如半導(dǎo)體芯片的熒光標記檢測、玻璃件的內(nèi)部缺陷(氣泡、雜質(zhì))檢測 —— 紫外線可激發(fā)樣品中的熒光物質(zhì)發(fā)光,突出微小缺陷;特定波長的單色光可減少色像差,提升成像分辨率。
但汞燈存在啟動時間長(需 5-10 分鐘預(yù)熱)、壽命短(約 500-1000 小時)、含汞有毒(報廢需特殊處理)的缺點,且需搭配鎮(zhèn)流器與防護鏡(避免紫外線傷害眼睛),目前僅在特殊高精度檢測場景中使用,逐步被 LED 熒光光源替代。https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/microscope/
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