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首頁 >高斯摩(成都)國際貿易有限公司> 技術文章> ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 CR300B
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 CR300B
2025/07/01 16:21:17
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 CR300B
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 CR300B
多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內不使用油或液體的機械真空泵。
在 FPD、電子和半導體行業(yè)等領域,需要更清潔的真空,并且需要真空泵來提高產量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。
干式真空泵“型號:CR VerB”是一款已獲得國際標準(CE、cTUVus)的風冷羅茨型干式真空泵。
排氣室不使用油,轉子和氣缸以非接觸方式運行,可以長時間穩(wěn)定運行。
長處
排氣室是非接觸式的,不使用油,因此可以長時間穩(wěn)定排氣。
由于不需要冷卻水和氮氣,因此有助于降低運行成本。
配備直流屏蔽電機,節(jié)能、密閉、輕量化。
氣鎮(zhèn)機構可實現(xiàn)蒸汽排放。
標準:CE、cTUVus
用
真空排氣清潔氣體,如空氣和惰性氣體
真空干燥等水蒸氣排放(必須使用氣鎮(zhèn))
用于濺射、氣相沉積等的真空設備。
型 | CR16B 系列 | CR30B 型 | CR60B-S 系列 | CR60B-T 型 | CR300B 系列 | |
*抽速 | m3/小時 | 16 | 30 | 55 | 300 | |
升/分鐘 | 280 | 500 | 920 | 5000 | ||
極限壓力 *1 | 帕 | ≦3.0 | ≦0.5 | |||
*入口壓力 |
|
氣壓 | ||||
*排氣口壓力 |
|
氣壓 | ||||
電源電壓 *2 | 單相:100 V、200 V 三相:200 V | 單相:200V | 三相:200V | 三相:200V | ||
電機額定值 | 千瓦 | 0.72 | 1.5 | 3.0 | ||
進氣口 | KF25 系列 | 肯氟烴40 | KF50 系列 | |||
排氣口 | KF25 系列 | 肯氟烴40 | ||||
質量 | 公斤 | 35 | 48 | 100 | ||
法規(guī)遵從性 | CE、cTUVus | |||||
冷卻方式 | 風冷 | |||||
氣鎮(zhèn)機構 *3 | 存在 | |||||
*蒸汽處理量 *4 | 克/小時 | <300 | <500 | |||
標準配件 | 電源連接器、信號連接器、使用說明書、空氣過濾器、防護裝置 |
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋:
真空設備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(PVD/CVD):用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備:濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術:OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。