ULVAC愛發(fā)科油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS650B-WL

2025/07/07 14:18:49

型號：VS650B/VS750B是一款旋片式（單級）油旋轉(zhuǎn)真空泵。除了選擇風(fēng)冷或水冷外，還可以通過組合機(jī)械增壓泵獲得更大的排量。

此外，它還具有內(nèi)置的油霧分離器和回油機(jī)構(gòu)，可長期提供穩(wěn)定的排氣性能。此外，它的設(shè)計(jì)還考慮到了易于維護(hù)，例如更換油和元件。

ULVAC愛發(fā)科油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS650B-WL

長處

機(jī)械增壓泵（MBP）可以直接安裝

MBP 安裝套件無需安裝即可安裝 MBP。

標(biāo)配恒溫器通過使用

恒溫器，該恒溫器可檢測泵中的異常溫度升高，并通知您油量減少或泵中的異常。

油霧過濾器：大型油箱，內(nèi)置大型油箱

（油量：23~30L），減少換油頻率。

油箱內(nèi)置了易于更換的筒式油霧過濾器。

油霧過濾器收集的油會自動返回到泵中。

濾油器用于去除與油混合的灰塵。

用

光學(xué)薄膜沉積系統(tǒng)

反射鏡沉積設(shè)備

裝飾氣相沉積設(shè)備

薄膜收卷和沉積設(shè)備

在線濺射設(shè)備

烘烤爐 / 熱處理爐

冷凍干燥設(shè)備

泄漏測試設(shè)備

太空室

規(guī)范

型				VS650B-A 系列	VS650B-W 系列	VS650B-WL 系列※1	VS750B-A 系列	VS750B-W 系列
設(shè)計(jì)抽速		50 赫茲	m3 / 小時（L/min）	650（10,833）		600（10,000）	750（12,500）
		60 赫茲		750（12,500）			我不會開車
極限壓力	GP 已關(guān)閉		帕	≦ 8
	GP 開放			≦ 70
功耗（極限壓力下）		50 赫茲	千瓦	8			11
		60 赫茲		11			ー
發(fā)動機(jī)	型			全封閉風(fēng)扇式三相異步電動機(jī)
	能力		kW （極數(shù)）	22（4）
	電壓	50 赫茲	V	200~240 / 380~415
		60 赫茲		200~240 / 380~460
Noise 值※2 （極限壓力下）		50 赫茲	分貝	75		72	80
		60 赫茲		80			ー
使用的油				ULVOIL R-72
所需油量			L	23~27	25~30°C		23~27	25~30°C
冷卻方式				風(fēng)冷	水冷式		風(fēng)冷	水冷式
冷卻水	入口壓力		MPaG	ー	≦0.5		ー	≦0.5
	入口壓差			ー	≧0.1		ー	≧0.1
	冷卻水量		升/分鐘	ー	≧3.0		ー	≧3.0
	冷卻水溫度		°C	ー	5~30		ー	5~30
	冷卻水 Δt			ー	≦60		ー	≦60
進(jìn)氣法蘭				DN 100 ISO-K
排氣口法蘭				DN 100 ISO-K
質(zhì)量			公斤	約 820

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。

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ULVAC愛發(fā)科 油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS650B-WL

規(guī)范

ULVAC愛發(fā)科油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS650B-WL